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天眼查APP顯示，近日，沈陽芯源微電子設備股份有限公司申請的“一種恒溫恒濕潔凈的晶圓工藝環境系統”專利公布。 摘要顯示，本發明屬于涂膠顯影設備技術領域，具體地說是一種恒溫恒濕潔凈的晶圓工藝環境系統，包括豎直分隔板、溫濕度調節裝置、風機過濾機組、單元腔體供風主管、單元腔體排風管、單元腔體風盒、機器人腔體供風主管、機器人腔體排風管、機器人腔體風盒。本發明通過溫濕度調節裝置、單元腔體供風主管、單元腔體排風管、單元腔體風盒的配合設置，可對各單元腔體有效供恒溫恒濕潔凈的工藝氣體環境，通過風機過濾機組、機器人腔體供風主管、機器人腔體排風管、機器人腔體風盒的配合設置，可對各機器人腔體有效供潔凈的非工藝氣體環境，且能夠有效避免機器人腔體的顆粒進入單元腔體，進而確保涂膠和顯影工藝穩定及對應產品質量。

關鍵詞： 單元腔體排風 單元腔體風盒 機器人腔體